"Роль атомно-силовой микроскопии (AFM) в развитии полупроводниковых технологий менее 65-ти нанометров"

"The role of AFM in semiconductor technology development: the 65 nm technology node and beyond."

Авторы: Владимир Украинцев, Ктристофер Баум (Christopher Baum), Гари Жанг (Gary Zhang) и Крэг Л. Холл (Craig L. Hall)