Референс метрология

Референс метрология (Reference Metrology) незаменима для достижения суб-нанометровой точности измерений критических размеров Вашей производственной (in-line) метрологии. Атомарный силовой микроскоп (CD AFM) является наиболее часто используемым прибором референс метрологии с суб-нанометровой точностью измерения.

С использованием референс метрологии Вы сможете создать приведённый к системе СИ набор стандартов, отражающих специфику Вашей технологии, оборудования и процессов. Данный набор стандартов затем будет использоваться для калибровки, сопоставления и настройки Ваших in-line CD SEM и OCD метрологических приборов.